| 职务 | 姓名 | 职称 | 工作单位 |
| 主任 | 薛其坤 | 中国科学院院士 | 南方科技大学 |
| 委员 | 常凯 | 中国科学院院士 | 浙江大学 |
| 委员 | 陈仙辉 | 中国科学院院士 | 中国科学技术大学 |
| 委员 | 封东来 | 中国科学院院士 | 上海科技大学 |
| 委员 | 高鸿钧 | 中国科学院院士 | 中科院物理所 |
| 委员 | 龚新高 | 中国科学院院士 | 复旦大学 |
| 委员 | 金奎娟 | 中国科学院院士 | 中科院物理所 |
| 委员 | 郭建东 | 研究员 | 中科院物理所 |
| 委员 | 骆军委 | 研究员 | 中科院半导体所 |
| 委员 | 林海青 | 中国科学院院士 | 浙江大学 |
| 委员 | 沈健 | 教授 | 复旦大学 |
| 委员 | 向涛 | 中国科学院院士 | 中科院物理所 |
| 委员 | 谢心澄 | 中国科学院院士 | 复旦大学 |
| 委员 | 邢定钰 | 中国科学院院士 | 南京大学 |
| 委员 | 杨学明 | 中国科学院院士 | 南方科技大学 |
| 委员 | 张振宇 | 教授 | 中国科学技术大学 |
| 委员 | 张富春 | 教授 | 中国科学院大学 |
（注：委员按字母拼音顺序排列）
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应用表面物理全国重点实验室
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